[发明专利]用于制造压电弯曲变换器的方法

权利要求书

1.用于制造压电弯曲变换器的方法，其中该压电弯曲变换器分别具有通过一个分隔间隙(30)相互分隔的、相互平行设置的两个薄片(36、37)，其中所述薄片分别从一个自由薄片端延伸至一个末端固定区域(25)，在该末端固定区域处所述两个薄片(36、37)相互连接，其中所述分隔间隙(30)结束于所述末端固定区域(25)中的一个末端固定间隙端(35)，所述方法具有以下的步骤：

-提供具有多个条状薄片初始结构(23、24)的一个多层板状压电衬底片(11)，其中分别在两个相互配对的薄片初始结构(23、24)之间的末端固定区域(25)中设置在厚度方向上穿过所述压电衬底片(11)的孔(26a、26b、26c)，

-在两个相互配对的薄片初始结构(23、24)之间插入相应的分隔间隙(30)使得：该分隔间隙在所述孔(26a、26b、26c)的整个孔长度上延伸至该孔(26a、26b、26c)的朝向自由薄片端的前孔区域(27a、27b、27c)，其中该孔长度在所述压电衬底片(11)的厚度方向上延伸，

-借助一种分离工具把设置有分隔间隙(30)的压电衬底片(11)分离为压电弯曲变换器。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过到达所属孔(26a、26b、26c)的两次切割(33)来构成一个相应的分隔间隙(30)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述孔(26a)是具有圆形截面的孔。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述孔(26c)是具有长圆孔形截面的孔。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述孔(26b)通过横向的、尤其垂直于切割方向按照钻孔的方式并列布置的多个子孔(26bI、26bII、26bIII)来构造。

6.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在插入所述分隔间隙时(30)，切割到位于所述压电衬底片之下的基材中。

7.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，利用所述的分离工具来实施分隔间隙(30)的插入。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述分离工具是一种锯。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，作为锯使用了具有旋转锯片(32)的薄片锯(31)，其中该锯片优选地分别切入到在两个配对的薄片初始结构(23、24)之间的区域中。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，设置有另一孔(29a、29b、29c)，其中该另一孔从自由薄片端开始成行地设置于所述第一孔(26a、26b、26c)之后，并与所述第一孔相间隔，使得在使用薄片锯(31)时所述切割(33)在所述压电衬底片(11)的表面上达到该另一孔(29a、29b、29c)，其中同时达到了所述第一孔(26a、26b、26c)的前孔区域(27a、27b、27c)的下边缘。

11.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，多个压电衬底片(11)以表面对表面的方式相互重叠地相附着，并然后作为压电衬底片组在多个压电衬底片(11)上同时形成分隔间隙(30)。