[发明专利]带电粒子分析装置有效
| 申请号： | 200780052915.5 | 申请日： | 2007-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101669027A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 西口克 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;H01J49/06;H01J49/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种带电粒子分析装置，在产生用于形成旋转轨道(C)的扇形电场的主电极(11)的外侧电极(11a)上，穿透设置用于从外部沿着扇形电场入射光轴(A)将离子导入旋转轨道(C)的离子入射口(15)，为了修正由于设置了该入射口所带来的扇形电场的散乱，在扇形电场入射光轴(A)的方向上排列了3个电场修正电极(20)。通过分别适当的调整施加于该电场修正电极(20)的直流电压，能够将扇形电场中的等电位线调整至与没有离子入射口(15)时大致相同的程度。由此，可以减少沿着旋转轨道(C)飞行的离子的轨道的偏移，并且可以通过停止对电极(11)、(20)的电压施加，让离子通过离子入射口(15)载入旋转轨道(C)。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 分析 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子分析装置，具有带电粒子光学系统，其为了形成用于使带电粒子以圆弧形状飞行的扇形电场，含有将外侧电极和内侧电极作为一对的电极，该带电粒子分析装置，在所述外侧电极上穿透设置了用于使带电粒子通过，或者用于使监视带电粒子的状态的电磁波或粒子线通过的开口，其特征在于，具有：电场修正电极，在所述开口的周围，在面向由所述外侧电极与内侧电极所夹的空间的位置上配置；电压施加机构，其对该电场修正电极施加规定的直流电压；通过所述电场修正电极，修正由所述开口所带来的扇形电场的散乱。
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