[发明专利]带电粒子分析装置

权利要求书

1.一种带电粒子分析装置，具有带电粒子光学系统，其为了形成用于 使带电粒子以圆弧形状飞行的扇形电场，含有将外侧电极和内侧电极作为 一对的主电极，该带电粒子分析装置，在所述外侧电极上穿透设置了用于 使带电粒子通过，或者用于使监视带电粒子的状态的电磁波或粒子线通过 的开口，其特征在于，

具有：电场修正电极，在所述开口的周围，在面向由所述外侧电极与 内侧电极所夹的空间的位置上配置；

电压施加机构，其对该电场修正电极施加规定的直流电压；

通过所述电场修正电极，修正由所述开口所带来的扇形电场的散乱，

所述开口形成在从离子光轴延伸的直线上，

所述带电粒子、所述电磁波或所述粒子线沿着该直线从所述开口进行 入射或出射。

2.根据权利要求1所述的带电粒子分析装置，其特征在于

所述电场修正电极有多个，沿着通过所述开口入射出射的带电粒子、 电磁波或者粒子线的直线状的光轴排列。

3.根据权利要求2所述的带电粒子分析装置，其特征在于

所述电压施加机构，能对多个所述电场修正电极独立地施加直流电 压。

4.根据权利要求1～3的任一项所述的带电粒子分析装置，其特征在 于

所述带电粒子是离子，所述扇形电场形成使离子沿着同一轨道飞行多 次的旋转轨道，

所述开口使离子从外部入射至该旋转轨道，或使从该旋转轨道脱离的 离子出射到外部。

5.根据权利要求4所述的带电粒子分析装置，其特征在于

在从所述主电极的端部入射至所述扇形电场或者从所述主电极的端 部出射的直线状的入射出射光轴的延长线上形成所述开口，根据对所述主 电极的施加电压，能够选择经过所述开口的离子的入射出射、和所述扇形 电场中的圆弧形状的离子的飞行。