[发明专利]多通道无吸收体近场测量系统有效
| 申请号： | 200780052673.X | 申请日： | 2007-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101652667A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | A·奈斯哈德哈姆;R·帕斯顿;J·金 | 申请（专利权）人： | EMSCAN公司 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;G01R29/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李镇江 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 一种近场微波扫描系统，包括形成阵列表面的天线元件的开关阵列，大体平行于阵列表面并且被以小于测量频率的大约1个波长的距离分隔开的扫描表面，以及用于获得和处理近场数据的处理引擎，而不使用吸收体。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 吸收体 近场 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种无吸收体的近场微波扫描系统，包括：(a)嵌入电介质的天线元件的开关阵列，所述天线元件的开关阵列用于感测预定位置处的电磁场分量，并且形成阵列表面，其中所述阵列输出原始的未校正的信号，该原始的未校正的信号表示电磁场，并且包括互耦效应；(b)用于放置受测设备(DUT)的扫描表面，其中所述扫描表面大体平行于所述阵列表面，并且被以小于所测量频率的波长的大约1/1.8的距离分隔开；(c)在操作上连接到所述开关天线阵列用于获得和处理阵列输出的处理引擎，所述处理引擎适合于针对互耦效应在单个探针级别进行校正，并且所述处理引擎包括：i.控制器，ii.通道选择器和采样器，iii.通道校正器，用于针对差分路径损耗和延迟进行调整，iV.数据转换器和内插器，v.振幅和相位检测器，vi.近场校正器，vii.变换器，用于将近场数据变换为远场数据，以及ix.用户接口。
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