[发明专利]控制电加热器的方法和系统

摘要

控制加热器以驱动负荷温度接近设定点的系统和方法。在每个1/2AC周期的开始，计算sigma-delta调制算法以确定该AC周期应当打开还是关闭。过去的实际占空比运行估算与所需的示出占空比对比，并且它们两个之间的差用来调整下一个1/2周期的输出。这产生伪随机脉冲序列输出，其不会包含会在被加热元件上产生不希望的小的周期性“波动”的明显周期性的部分。

主权项

一种在等离子处理系统控制电加热器的方法，包括：a）接收设定点温度；b）对比所述设定点温度与负荷温度，所述负荷温度表示最近测量的负载的测量温度；c）响应所述对比生成占空比命令；d）在步骤c）之后使用累计占空比误差更新占空比命令；e）在步骤d）之后将所述占空比命令量化为PWM（脉冲宽度调制）信号，所述PWM信号包括多个ON脉冲和多个OFF脉冲；f）利用所述PWM信号来触发固体继电器（SSR）电路，由此响应所述PWM信号对所述电加热器通电；g）按照预先定义的间隔中断所述SSR电路，该间隔小于60HzAC周期；以及h）在步骤d）之后将占空比误差累计进所述累计占空比误差中，所述占空比误差是所述更新之后的所述占空比命令与理想占空比命令之间的差，其中所述步骤a）到h）重复执行。