[发明专利]控制电加热器的方法和系统

权利要求书

1.一种在等离子处理系统控制电加热器的方法，包括：

a）接收设定点温度；

b）对比所述设定点温度与负荷温度，所述负荷温度表示 最近测量的负载的测量温度；

c）响应所述对比生成占空比命令；

d）在步骤c）之后使用累计占空比误差更新占空比命令；

e）在步骤d）之后将所述占空比命令量化为PWM（脉冲 宽度调制）信号，所述PWM信号包括多个ON脉冲和多个 OFF脉冲；

f）利用所述PWM信号来触发固体继电器（SSR）电路， 由此响应所述PWM信号对所述电加热器通电；

g）按照预先定义的间隔中断所述SSR电路，该间隔小于 60HzAC周期；以及

h）在步骤d）之后将占空比误差累计进所述累计占空比 误差中，所述占空比误差是所述更新之后的所述占空比命令与 理想占空比命令之间的差，

其中所述步骤a）到h）重复执行。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括在执行另一组步骤a） 到h）之前，将所述更新之后的所述占空比命令增加到所述累 计占空比误差。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述预先定义的间隔表示所 述60HzAC周期的1/2。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述预先定义的间隔表示所 述60Hz AC周期的1/3或所述60HzAC周期的1/6。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述负荷表示设在等离子处 理室中的结构。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述结构表示在所述等离子 处理室中处理的基片。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述结构表示所述等离子处 理室的部件。

8.一种在等离子处理系统中控制电加热器的系统，包括：

用以接收设定点温度的装置；

用以对比所述设定点温度与负荷温度的装置，所述负荷 温度表示最近测量的负荷的测量温度；

用以响应所述对比生成占空比命令的装置；

用以在所述生成之后使用累计占空比误差更新占空比命 令的装置；

用于在所述更新之后将占空比误差累计进所述累计占空 比误差中的装置，所述占空比误差是所述更新之后的所述占空 比命令与理想占空比命令之间的差；

用以在所述更新之后将所述占空比命令量化为PWM（脉 冲宽度调制）信号的装置，所述PWM信号包括多个ON脉冲 和多个OFF脉冲，其中利用所述PWM信号触发固体继电器 （SSR）电路，由此响应所述PWM信号为所述电加热器通电； 和

用以按照预先定义的间隔中断所述SSR电路的装置，该 间隔小于60HzAC周期。

9.根据权利要求8所述的系统，进一步包括用以将所述更新之后 的所述占空比命令增加到所述累计占空比误差的装置。

10.根据权利要求8所述的系统，其中所述预先定义的间隔表示所 述60HzAC周期的1/2。

11.根据权利要求8所述的系统，其中所述预先定义的间隔表示所 述60Hz AC周期的1/3或所述60HzAC周期的1/6。

12.根据权利要求8所述的系统，其中所述负荷表示设在等离子处 理室中的结构。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述结构表示在所述等离 子处理室中处理的基片。

14.根据权利要求8所述的系统，其中所述结构表示所述等离子处 理室的部件。