[发明专利]液体材料的填充方法、装置及程序有效
| 申请号： | 200780040193.1 | 申请日： | 2007-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN101547750A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 生岛和正 | 申请（专利权）人： | 武藏工业株式会社 |
| 主分类号： | B05D3/00 | 分类号： | B05D3/00;B05C5/00;B05D1/26 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程 伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不需要计算复杂的参数且不会对吐出部的移动速度造成影响的液体材料的填充方法、装置及程序。本发明涉及一种液体材料的填充方法、用以实施该方法的装置及程序，其中，其特征在于，该液体材料的填充方法，为在衬底与其上载置的工件的间隙利用毛细管现象填充从吐出部吐出的液体材料的方法；沿工件的外周做成由涂布区域及非涂布区域所构成的涂布图案，通过伸缩涂布区域及非涂布区域来校正液体材料的吐出量。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 材料 填充 方法 装置 程序 | ||
【主权项】：
1、一种液体材料的填充方法，是在衬底与其上所载置的工件的间隙利用毛细管现象填充从吐出部吐出的液体材料的方法，其特征在于，沿工件的外周做成由涂布区域及非涂布区域所构成的涂布图案，通过使涂布区域及非涂布区域伸缩来进行液体材料的吐出量的校正。
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