[发明专利]液体材料的填充方法、装置及程序

权利要求书

1.一种液体材料的填充方法，是在衬底与其上所载置的工件的间 隙利用毛细管现象填充从吐出部吐出的液体材料的方法，其特征在于， 沿工件的外周做成由涂布区域及非涂布区域所构成的涂布图案，在设 定包含涂布图案与适当重量W₂的关系及／或与适当吐出时间的关系的 初期参数、考虑由于时间经过或温度变化而产生的液体材料黏度变化 而设定包含使用者输入的时间信息或者工件的片数的校正周期、以设 定的校正周期算出对应于因液体材料黏度变化所引起的吐出量变化的 校正量、当判断有必要进行液体材料的吐出量的校正的情况下校正涂 布图案的液体材料的填充方法中，

当判断有必要进行液体材料的吐出量的校正的情况下，通过使涂 布区域及非涂布区域伸缩，不变更吐出部的移动速度V而校正涂布图 案，以及

量测在校正前的吐出时间T₁内所吐出的液体材料的重量W₁，由吐 出时间T₁与重量W₁的关系算出用以吐出适当重量W₂的时间T₂，由 时间T₂与吐出部的移动速度V算出涂布区域的适当全长L₂，将涂布区 域的适当全长L₂与校正前的涂布区域的全长L₁的差，设为涂布区域与 非涂布区域各自的全长的伸缩量，或者，量测吐出液体材料达到适当 重量W₂为止的时间T₂，由时间T₂与吐出部的移动速度V算出涂布区 域的适当全长L₂，将涂布区域的适当全长L₂与校正前的涂布区域的全 长L₁的差，设为涂布区域与非涂布区域各自的全长的伸缩量。

2.根据权利要求1所述的液体材料的填充方法，其特征在于，不 改变涂布图案的全长，而使涂布区域及非涂布区域伸缩。

3.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在于， 所述涂布图案中，涂布区域及非涂布区域交替地连续。

4.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在于， 所述涂布图案，其全长与方形工件的一边为大致相同的长度，由一个 以上的涂布区域和与涂布区域相邻接的多个非涂布区域所构成。

5.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在于， 所述涂布图案，由与方形工件的一边大致相同长度的涂布区域，以及 与涂布区域相邻接且沿与所述工件的一边相邻接的边而设定的一或二 个非涂布区域所构成。

6.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在于， 所述涂布图案，由与方形工件的一边大致相同长度的涂布区域，以及 与涂布区域相邻接且平行设定的一或二个非涂布区域所构成。

7.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在于， 在所述吐出量的校正前后，不改变吐出部的移动速度V。

8.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在于， 将吐出时间或吐出重量与黏度的关系存储于存储器，在更换液体材料 后的步骤中，根据该存储器的存储信息，算出涂布区域与非涂布区域 各自的全长的伸缩量。

9.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在于， 设定判断是否进行校正的容许范围，当量测值超过所述容许范围时， 校正涂布区域与非涂布区域各自的全长的伸缩量。

10.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在 于，伴随液体材料随时间经过的黏度变化来进行吐出量的校正。

11.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在 于，根据使用者作为校正周期所输入的时间信息、工件的片数、或衬 底的片数，来进行液体材料的吐出量的校正。