[发明专利]在太阳能电池基板上脉冲电镀低应力膜层的方法无效
申请号: | 200780039493.8 | 申请日: | 2007-10-16 |
公开(公告)号: | CN101553933A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 瑟奇·洛帕汀;查尔斯·盖伊;大卫·伊格尔沙姆;约翰·O·杜科维克;尼古拉·Y·科瓦尔斯基 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/00 | 分类号: | H01L31/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;陈 红 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明实施例可利用电化学电镀方式来形成具有改良的电性及机械性质的低成本太阳能电池金属接点结构。形成在一太阳能电池装置中的互连的电阻会大幅影响太阳能电池的效率。因此,较佳是形成具有低电阻、可靠且具经济效益的联机的太阳能电池。本文所述的一或多个实施例适以利用内含诸如铜的常见金属的电化学电镀方式来形成低成本且可靠的互连层。但是,一般来说,互连层的电镀部分可包括实质纯金属或金属合金层。本文所揭示的方法可用来生成内含具有低内源性应力的导电金属互连层的太阳能电池。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 基板上 脉冲 电镀 应力 方法 | ||
【主权项】:
1.一种在太阳能电池基板中形成金属互连的方法,包含:提供具有一n-型区域或一p-型区域的基板,且该n-型区域或p-型区域通常邻接该基板的一表面;形成一种晶层,该种晶层与该基板的该表面上的该n-型区域或该p-型区域电联通;及藉由将该种晶层和一电极浸润在一第一电解液内,并且相对于该电极使用一电源输送的一或多个波形来偏压该种晶层,而于该种晶层上形成一第一金属层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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