[发明专利]感光性树脂组合物、感光性薄膜和图案形成方法无效
| 申请号： | 200780039162.4 | 申请日： | 2007-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN101529334A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 工藤和生;吉田武司;增子英明;板野考史 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/40;H01J9/02;H01J9/227;H01J11/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴 娟;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供可形成高精度的图案、同时有机成分的热分解性优异、且烧结后的收缩少、含有至少具有1个SH基的碱溶性树脂(A)、多官能(甲基)丙烯酸酯(B)、光聚合引发剂(C)和无机颗粒(D)的感光性树脂组合物；以及使用该组合物的图案形成方法。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 薄膜 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.感光性树脂组合物，其特征在于：含有至少具有1个SH基的碱溶性树脂(A)、多官能(甲基)丙烯酸酯(B)、光聚合引发剂(C)和无机颗粒(D)。
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