[发明专利]感光性树脂组合物、感光性薄膜和图案形成方法

权利要求书

1.感光性树脂组合物，其特征在于：含有至少具有1个SH基的碱溶性树脂(A)、多官能(甲基)丙烯酸酯(B)、光聚合引发剂(C)和无机颗粒(D)。

2.权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述无机颗粒(D)的至少一部分为玻璃粉末。

3.权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述碱溶性树脂(A)是在1个分子中至少具有2个SH基的化合物(A1)的存在下、将含碱溶性官能团的单体(A2)与(甲基)丙烯酸衍生物(A3)聚合得到的(甲基)丙烯酸类树脂。

4.权利要求3所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述化合物(A1)是含SH基的羧酸与多元醇的酯。

5.权利要求1-4中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述多官能(甲基)丙烯酸酯(B)具有下式(1)所示的基团，

式(1)中，R¹表示氢原子或甲基，R²表示二价有机基团，R³表示一价有机基团。

6.权利要求1-5中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述多官能(甲基)丙烯酸酯(B)是下式(2)所示的化合物，

ZOCH(CH₂OZ)₂(2)

式(2)中，Z由下式(3)表示，

式(3)中，n为1-10的实数。

7.感光性薄膜，其特征在于：具有由权利要求1-6中任一项所述的感光性树脂组合物得到的感光性树脂组合物层。

8.图案形成方法，其特征在于包括以下步骤：

(I)在基板上形成由权利要求1-6中任一项所述的感光性树脂组合物得到的感光性树脂组合物层的步骤；

(II)对该感光性树脂组合物层进行曝光处理，形成图案的潜像的步骤；

(III)对曝光后的感光性树脂组合物层进行显影处理，形成图案的步骤；以及

(IV)对该图案进行烧结处理的步骤。

9.权利要求8所述的图案形成方法，其特征在于：在上述步骤(I)中，使用权利要求7所述的感光性薄膜，在基板上形成感光性树脂组合物层。

10.平板显示器的制造方法，其特征在于包括如下步骤：通过权利要求8或9所述的图案形成方法，形成选自电介质、电极、电阻、荧光体、间隔、滤色器和黑底的至少一种的显示面板用构件。

11.权利要求10所述的平板显示器的制造方法，其特征在于：上述显示面板是等离子体显示面板。