[发明专利]利用了等离子反应炉处理系统的电子装置的制造方法

摘要

可瞬时变更加工箱内气体介质的浓度，能够以高生产率且低成本来实现液晶设备或半导体设备的生产所需的等离子反应处理加工。对各个成分气体的压力控制型流量调整器提供的新的流量设定值设为，以在浓度变更前后总流量值相同作为条件，根据所假设的变更后的加工气体浓度通过逆运算而求出的值，并且排出管道中的压力控制器从变更开始仅限于在规定的微少时间，从压力设定模式被切换到阀开度设定模式，同时被提供应缓和刚变更后的压力变动的由经验求出的阀开度设定值。

主权项

1、一种利用了等离子反应炉处理系统的电子装置的制造方法，所述等离子反应炉处理系统包括：加工箱，内置等离子发生器；惰性气体的供应管道，将1种或者2种以上的惰性气体源分别与加工箱连接；加工气体的供应管道，将1种或者2种以上的加工气体源分别与加工箱连接；以及箱内气体的排出管道，连接加工箱和排气泵，在惰性气体的供应管道以及加工气体的供应管道的每一个中有压力控制型流量调整器，该压力控制型流量调整器具有以下功能，即将流量控制阀的开度向着被提供的流量设定值和对应于由压力测量单元测量的流体压力的流量检测值的偏差减少的方向自动地变更，并且，在箱内气体的排出管道中有具有第1动作模式的压力控制器，所述第1动作模式是指，将流量控制阀的开度向着被提供的压力设定值和压力测量值的偏差减少的方向自动地变更，所述制造方法的特征在于，具有第1步骤，对介于各个成分气体的供应管道的所述压力控制型流量调整器分别提供新的流量设定值，以变更加工箱内的加工气体的浓度，并且，在所述第1步骤中，对各个流量调整器提供的新的流量设定值的每一个是，以在浓度变更前后总流量值相同作为条件，根据所假设的变更后的加工气体浓度通过逆运算而求出的值。