[发明专利]弹性边界波装置

摘要

本发明提供利用在LiNbO₃或LiTaO₃和电介体层的界面传输的弹性边界波，无论电极膜变薄与否，均利用SH型弹性边界波，形成为低损失的弹性边界波装置。弹性边界波装置1在LiNbO₃基板1的上表面形成有多条槽1b，在这些槽1b中填充金属材料，形成包含IDT电极的电极膜3，SiO₂膜之类的电介体层4以覆盖LiNbO₃基板1的槽1b及电极膜3的方式形成，电介体层4的表面被平坦化，电极膜3的厚度、LiNbO₃基板的欧拉角(0°，θ，-45°～+45°)的θ及电介体层4的厚度在下述表1所示的范围的任一个范围。

主权项

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