[发明专利]利用具有改良的光学访问的双区域气体注射器来访问工艺室的方法和设备有效
| 申请号： | 200780037409.9 | 申请日： | 2007-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN101529997A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 杰夫·A·博加特;伦纳德·沙普利斯;哈米特·辛格 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 吴贵明 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种沿着轴向路径从工艺室外的分析末端点经过光学访问窗口对该工艺室提供光学访问的注射器。中空罩本体容纳第一及第二工艺气体，并环绕该轴向路径。该本体中的轴套被推向该本体以最小化微粒的产生，并定义将该第一工艺气体注射入该工艺室的第一气体内腔。轴套的第二气体内腔环绕该轴向路径以将该第二工艺气体注射入该工艺室，允许光学信号在该末端点具有想要的信噪比(SNR)。一种方法，在该第二内腔中提供隔膜，将该第二内腔分割为被配置为减少对该光学访问窗口的刻蚀以及该光学访问窗口上的沉积并在分析末端点保持该想要的SNR的孔。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 具有 改良 光学 访问 区域 气体 注射器 工艺 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于工艺室的气体注射器，该工艺室配有光学访问窗口，该光学访问窗口允许光线进出该工艺室，该注射器包含：轴套，其配有限定气体和光学访问路径的内腔，该内腔配有访问区域，该访问区域被配置为流通工艺气体并传送具有想要的信噪比(SNR)的光学访问信号；及容纳于该内腔的隔膜，其被进一步配置为将该内腔的该访问区域分割为至少两个独立的通孔，该至少两个独立的通孔中的每一个都被配置为与其他通孔协作，以流通该工艺气体并通过该光学访问窗口传送该具有想要的SNR的光学访问信号。
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