[发明专利]用于观察样品表面的设备和方法有效
| 申请号： | 200780037110.3 | 申请日： | 2007-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101523195A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | S·瓦德曼 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;A61B5/103 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李亚非;刘 红 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于观察样品(1)的表面(2)的外观的设备，包括用于从预定方向照射所述表面(2)的光源(11)以及用于观察所述表面(2)的装置。用于观察所述表面(2)的装置包括相对于所述表面(2)位于不同方向的多个基本平面镜(8)。所述装置还包括用于观察所述平面镜(8)的光学系统(6，14)。每个平面镜(8)反射所述样品(1)的表面(2)的图像到所述光学系统(6，14)的图像接收部分(6)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 观察 样品 表面 设备 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用于观察样品(1)的表面(2)的外观的设备，包括用于从预定方向照射所述表面(2)的光源(11)以及用于观察所述表面(2)的装置，其特征在于，用于观察所述表面(2)的装置包括相对于所述表面(2)位于不同方向的多个基本平面镜(8)以及用于观察所述平面镜(8)的光学系统(6，14)，由此每个平面镜(8)反射所述样品(1)的表面(2)的图像到所述光学系统(6，14)的图像接收部分(6)。
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