[发明专利]用于观察样品表面的设备和方法

权利要求书

1.一种用于观察样品(1)表面(2)外观的设备，包括用于从 预定方向照射所述表面(2)的光源(11)以及用于观察所述表面(2) 的装置，其中用于观察所述表面(2)的装置包括相对于所述表面(2) 位于不同入射方向的多个基本平坦的平面镜(8)以及用于观察所述 平面镜(8)的光学系统(6，14)，由此每个平面镜(8)反射所述样 品(1)的表面(2)的图像到所述光学系统(6，14)的图像接收部 分(6)，其中该光源(11)的位置是可调整的，使得该样品(1)的表 面(2)可以从不同角度被照射。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述平面镜(8)设置 在离待观察表面(2)的位置基本相等距离的位置上。

3.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述平面镜(8) 设置在离所述光学系统(6，14)的所述图像接收部分(6)基本相等距 离的位置上。

4.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述光学系统(6， 14)的图像接收部分(6)和待观察表面(2)相互靠近，由此待观察表 面(2)的位置和所述平面镜(8)之间的平均距离是待观察表面(2)的 位置和所述光学系统(6，14)的所述图像接收部分(6)之间距离的十 倍。

5.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述光学系统(6， 14)的所述图像接收部分是球面镜(6)，由此所述平面镜(8)将所述表 面(2)的图像(23)反射向所述球面镜(6)，使得所述表面(2)的不 同图像(23)可以通过所述球面镜(6)被观察到。

6.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，存在五个或更多个 平面镜(8)。

7.如权利要求6所述的设备，其特征在于，存在多于八个的平面镜 (8)。

8.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述光学系统包括 用于记录所述表面(2)的表现的相机(14)，所述表现包括从不同方向 拍摄的待观察表面(2)的多幅图像(23)。

9.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述设备包括位于 所述平面镜(8)前方的球形屏幕(17)，所述屏幕(17)设置有光束(12) 可以穿过的一个或更多个开口(21)以及所述光学系统(6，14)的 图像接收部分(6)可被观察的开口(22)。

10.如权利要求9所述的设备，其特征在于，所述球形屏幕(17) 由透明材料制成，所述透明材料涂布有可基于电子命令而漫射的材料。

11.一种用于观察样品(1)表面(2)外观的方法，其中光源(11) 从预定方向照射所述表面(2)，同时所述表面(2)从另一方向被观 察，其中所述表面(2)通过相对于所述表面(2)位于不同入射方向 的多个基本平坦的平面镜(8)观察，由此每个平面镜(8)反射所述 样品(1)的表面(2)的图像(23)到观察所述表面(2)的光学系 统的图像接收部分(6)，其中该光源(11)的位置是可调整的，使得该 样品(1)的表面(2)可以从不同角度被照射。