[发明专利]动态部件追踪系统及其方法

摘要

提供了一种用于促进对工具组的等离子处理工具部件管理的计算机实施方法。该方法包括在与第一工具相关联的第一数据库，接收用于第一部件组的第一部件数据，包括部件识别和使用历史。该方法还包括在与第二工具相关联的第二数据库，接收用于第二部件组的第二部件数据，该第二工具与第一工具不同。该方法进一步包括利用第三数据库，同步化第一部件数据和第二部件数据。该同步化包括在该第三数据库与第一数据库和第二数据库中至少一个之间同步多个规则，该规则控制第一和第二部件组中至少一个部件的使用。连接该第三数据库，以与工具组交换数据。该方法还包括在进行替换、分析和保养之一之前，利用规则和使用历史数据，获取有关给定部件的信息。

主权项

1.一种用于促进对工具组的等离子处理工具部件管理的计算机实施方法，其包括：在与所述工具组的第一工具相关联的第一数据库，接收用于第一部件组的第一部件数据，包括用于所述第一部件组的部件识别和使用历史；在与所述工具组的第二工具相关联的第二数据库，接收用于第二部件组的第二部件数据，包括用于所述第二部件组的部件识别和使用历史，所述第二工具与所述第一工具不同；利用第三数据库，同步化所述第一部件数据和所述第二部件数据，所述同步化包括在所述第三数据库与所述第一数据库和所述第二数据库中至少一个之间同步规则系列，该规则系列控制所述第一部件组和所述第二部件组中至少一个部件的使用，连接所述第三数据库以与所述工具组交换数据；于对所述工具组中的一个的给定部件实施替换、分析和保养之一之前，利用至少在所述第三数据库内的所述规则系列和使用历史数据，获取关于该给定部件的信息。