[发明专利]抗反射涂料组合物有效
| 申请号： | 200780035975.6 | 申请日： | 2007-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN101529335A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | D·阿布达拉;R·R·达米尔 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于光致抗蚀剂的旋涂施加型抗反射涂料组合物，其包含聚合物、交联化合物和热致酸生成剂，其中该聚合物包含至少一种能将抗反射涂料组合物在光致抗蚀剂成像用的曝光辐射下的折光指数提高至等于或大于1.8的值的官能结构部分和能吸收光致抗蚀剂成像用的曝光辐射的官能结构部分。本发明还涉及本发明的抗反射涂层的成像方法。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 涂料 组合 | ||
【主权项】：
1.用于光致抗蚀剂的旋涂施加型抗反射涂料组合物，其包含聚合物、交联化合物和热致酸生成剂，其中该聚合物包含至少一种能将抗反射涂料组合物在光致抗蚀剂成像用的曝光辐射下的折光指数提高至等于或大于1.8的值的官能结构部分和至少一种能吸收光致抗蚀剂成像用的曝光辐射的官能结构部分。
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