[发明专利]硫酸酸性铜电解液制备方法及使用该制备方法制备的硫酸酸性铜电解液及电析铜薄膜有效

专利信息
申请号: 200780035397.6 申请日: 2007-10-02
公开(公告)号: CN101517131A 公开(公告)日: 2009-08-26
发明(设计)人: 朝长咲子;土桥诚;吉冈淳志;立冈步;松田光由;酒井久雄 申请(专利权)人: 三井金属矿业株式会社
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 菅兴成
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明目的是提供一种硫酸酸性铜电解液,其中,相对于铜电解液使用单硫化物类药品作为添加剂,从而可在紧接着建浴之后稳定地获得平滑的光泽性优异的电析铜薄膜。为了达到该目的,在添加有已提出的用于形成具有光泽的电析铜薄膜的活性硫化合物磺酸盐的硫酸酸性铜电解液中,使用双(3-磺丙基)二硫化物作为添加剂。该双(3-磺丙基)二硫化物,是从3-巯基-1-丙磺酸的水溶液通过氧化反应将3-巯基-1-丙磺酸转化为双(3-磺丙基)二硫化物而得到。在该氧化反应中,为了防止3-巯基-1-丙磺酸的氧化分解优选采用空气鼓泡法。
搜索关键词: 硫酸 酸性 电解液 制备 方法 使用 电析铜 薄膜
【主权项】:
1.一种硫酸酸性铜电解液的制备方法,其特征在于,包括以下的工序A~工序C,工序A:在含铜离子水溶液中添加作为活性硫化合物磺酸盐的3-巯基-1-丙磺酸而获得初期水溶液的工序;工序B:使上述初期水溶液发生氧化反应从而制备使上述3-巯基-1-丙磺酸的一部分或全部转化为双(3-磺丙基)二硫化物的转化溶液的工序;工序C:在含硫酸铜溶液中添加上述转化溶液从而制备硫酸酸性铜电解液的工序。
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