[发明专利]复合传感器有效
| 申请号： | 200780029100.5 | 申请日： | 2007-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN101501505A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 相泽宏幸;大内智 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01C19/56;G01P9/04;G01P15/09;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 葛 飞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的复合检测元件(6)的结构是：将加速度检测元件(2)和角速度检测元件(4)相互层叠配置，且使其与加速度检测元件(2)的锤部(12)隔开地将角速度检测元件(4)配置在加速度检测元件(2)的上方，并且，角速度检测元件(4)在与加速度检测元件(2)的锤部(12)相对的相对面上设置有使其与加速度检测元件(2)的锤部(12)隔开的凹部(26)。该凹部(26)的至少一部分的深度不超过锤部(12)的运动范围，抑制加速度检测元件(2)的锤部(12)的上方运动。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种复合传感器，其具备：具有角速度检测元件和加速度检测元件的复合检测元件，所述加速度检测元件具有锤部、以及连接于所述锤部并挠曲的臂，所述角速度检测元件具有驱动振动用臂、以及因科里奥利力而挠曲的臂，将所述角速度检测元件和所述加速度检测元件相互层叠配置，且使其与所述加速度检测元件的锤部隔开地将所述角速度检测元件配置在所述加速度检测元件的上方，并且，在所述角速度检测元件上设置抑制所述加速度检测元件的锤部的上方运动的抑制部。
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