[发明专利]复合传感器

权利要求书

1.一种复合传感器，其具备：

具有角速度检测元件和加速度检测元件的复合检测元件，

所述加速度检测元件具有锤部、以及连接于所述锤部并挠曲的臂，

所述角速度检测元件具有驱动振动用臂、以及因科里奥利力而挠曲的臂，

将所述角速度检测元件和所述加速度检测元件相互层叠配置，使所述角速度检测元件与所述加速度检测元件的锤部隔开，且将所述角速度检测元件配置在所述加速度检测元件的上方，并且，在所述角速度检测元件上设置抑制所述加速度检测元件的锤部的上方运动的抑制部。

2.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，

所述角速度检测元件在与所述加速度检测元件的锤部相对的相对面上设置有使其与所述加速度检测元件的锤部隔开的凹部，并且所述凹部的至少一部分具有不超过所述锤部的运动范围的深度。

3.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，

所述角速度检测元件具有在正交方向上将第一臂连接于第二臂而形成的两个正交臂；支承两个所述第一臂的支承部；以及在正交方向上将第三臂连接于所述第一臂而形成的两个正交臂，通过所述第三臂固定于所述加速度检测元件，使所述锤部、所述第一臂以及所述第二臂的厚度比所述第三臂的厚度薄，并且切除所述第三臂的一部分而设置缺口部，所述第三臂的一部分上设置的所述缺口部具有不超过所述加速度检测元件的锤部的运动范围的深度。

4.根据权利要求3所述的复合传感器，其中，

所述加速度检测元件具有连接于所述锤部且挠曲的臂，并且具有固定于安装基板的固定用臂，在所述加速度检测元件的固定用臂上层叠配置并固定所述角速度检测元件的第三臂。