[发明专利]用于确定涡轮分子泵的状态信息的方法和涡轮分子泵有效
| 申请号： | 200780028225.6 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101495760A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·戈策;赖纳·赫尔策;克里斯蒂安·哈里希 | 申请（专利权）人： | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D27/02;F04D29/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨林森;李春晖 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 在一种用于确定涡轮分子泵的状态信息的方法中和在一种涡轮分子泵中，利用连接到涡轮分子泵的振动传感器(10)来确定振动曲线。确定的振动曲线被传送到估计装置(12)，其中振动幅度由估计装置(12)中的滤波器(16)进行检测，然后与比较值进行比较。如果阈值被超过，则通过远程数据传送装置(28)将报警信号传送到监视系统(30)。该方法允许在线监视涡轮分子泵。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 涡轮 分子 状态 信息 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定涡轮分子泵的状态信息的方法，其中：-通过连接到所述涡轮分子泵的振动拾取器(10)来检测振动发展状况；-将所述振动发展状况发送到估计单元(12)；-所述估计单元(12)具有布置在其中的优选为频率滤波器电路的滤波器(16)，所述滤波器(16)被设置到用于检测相应振动幅度的频率；-在所述估计单元(12)中，借助于所述涡轮分子泵的微处理器(22)，将当前振动幅度与至少一个限制值进行比较；以及-当超过所述限制值时，将信号发送到监视装置(30)。
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