[发明专利]用于确定涡轮分子泵的状态信息的方法和涡轮分子泵

权利要求书

1.一种用于确定涡轮分子泵的状态信息的方法，其中：

-通过连接到所述涡轮分子泵的振动拾取器(10)来检测振动发展状况；

-将所述振动发展状况发送到估计单元(12)；

-所述估计单元(12)具有布置在其中的作为频率滤波器电路的滤波器(16)，所述滤波器(16)适合于被设置到用于检测相应振动幅度的频率；

-通过以针对每个测量频率范围离散地检测所述振动幅度的方式被相继设置到不同频率，所述滤波器(16)是频率可变的；

-在所述估计单元(12)中，借助于用于驱动控制和监视所述涡轮分子泵的微处理器(22)，将当前振动幅度与至少一个限制值进行比较；以及

-当超过所述限制值时，将信号发送到监视装置(30)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，经由数据传输系统(28)来发送当超过所述限制值时发送的所述信号。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，在多个频率处测量所述振动幅度，并且将测量的所述振动幅度组合成合计值。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，通过将各个测量的所述振动幅度相加来确定所述合计值。

5.根据权利要求3或者4所述的方法，其中，测量临界频率范围内的多个频率，所述临界频率范围在所述涡轮分子泵的旋转频率的0.3倍至50倍的范围内。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，还在考虑涡轮分子泵参数和/或环境条件的情况下，执行报警信号的输出。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，在确定所述限制值时考虑所述涡轮分子泵参数和/或所述环境条件。

8.根据权利要求6或者7所述的方法，其中，通过自动重新计算所述限制值，所述限制值的确定是可变的。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，按有规则的间隔向所述监视装置(30)发送控制信号。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，当超过第一限制值时生成报警信号。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，当超过第二限制值时，自动关断所述涡轮分子泵。

12.一种用于执行根据权利要求1至11中任何一项所述的方法的涡轮分子泵，包括：

泵装置，其布置在壳体中；

振动拾取器(10)，其机械连接到要被监视的所述涡轮分子泵的部件；

估计单元(12)，其电连接到所述振动拾取器(10)，用于根据比较值来估计接收到的振动信号；以及

输出装置，其连接到所述估计单元(12)，用于在超过限制值时输出信号，

其特征在于，所述估计单元(12)包括用于信号处理的微处理器(22)，所述微处理器是用于驱动控制和监视所述涡轮分子泵的微处理器(22)，并且

所述估计单元(12)包括作为频率滤波器电路的滤波器(16)，通过设置频率使所述滤波器(16)适合于检测相应的振动幅度，并且通过将所述滤波器(16)设置到不同频率使所述滤波器(16)频率可变。

13.根据权利要求12所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述估计单元(12)适合于针对至少一个频率来检测振动幅度。

14.根据权利要求12所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述估计单元(12)包括用于存储比较值的存储元件(24)。

15.根据权利要求12所述的涡轮分子泵，其特征在于：确定装置，用于确定涡轮分子泵参数和/或环境条件。

16.根据权利要求15所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述估计单元(12)包括：限制值调整装置，用于根据检测到的所述涡轮分子泵参数和/或检测到的所述环境条件来调整所述限制值。

17.根据权利要求12所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述估计单元(12)经由远程数据传输系统(28)连接到监视装置(30)。