[发明专利]小体积模块处理系统无效
| 申请号： | 200780028091.8 | 申请日： | 2007-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101495391A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 尼欧·谬;斯蒂文·波普;安东尼·怀特;尼蒂·M·克里希纳 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种用于模块处理系统的方法和装置。所述装置包括作为所述系统的基础的传递室并且包括适于接收至少三个200mm和/或300mm处理室的侧壁。所述传递室包括能够承受高温并设置成传送200mm和300mm基板的机械手。所述传递室的模块性是高度可移植的，并且提供低所有权成本的研发平台，当添加附加室和外围硬件时，可以将其模块化构建成生产系统。 | ||
| 搜索关键词： | 体积 模块 处理 系统 | ||
【主权项】：
1.一种传递室，包括：室体，该室体包括由至少四个侧壁限定的内部体积；穿过所述侧壁中的每一个形成的基板传送舱口；以及放置在所述内部体积中的传送机械手，所述传送机械手设置成能承受超过100摄氏度的温度。
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