[发明专利]端部倾角测定方法、具有起伏的被检物的检测方法及检测装置、照明位置确定方法、不均匀缺陷检测装置和照明位置确定装置无效
| 申请号: | 200780021551.4 | 申请日: | 2007-06-12 |
| 公开(公告)号: | CN101466999A | 公开(公告)日: | 2009-06-24 |
| 发明(设计)人: | 井殿多闻 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
| 主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G01B11/06;G01M11/00;G01N21/88 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 张 鑫 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种端部倾角测定方法,用于测定具有起伏的被检物的端部倾角,包括:步骤A,对上述被检物进行光照射;步骤B,检测上述被检物的反射光分布;步骤C,根据上述反射光分布的检测结果求取上述反射光分布的特征点;以及步骤D,根据光照射角度和反射光检测角度求取端部倾角,其中,上述光照射角度是在上述步骤A中对上述被检物的与上述特征点对应的位置进行光照射的角度,上述反射光检测角度是在上述步骤B中对被检物的与上述特征点对应的位置的反射光进行检测的角度,上述端部倾角是上述起伏的端部附近的倾角。还提供一种用于求取被检物中起伏端部附近的倾角、即端部倾角的方法,以及根据端部倾角高精度检测各起伏间的起伏厚度差的方法。 | ||
| 搜索关键词: | 倾角 测定 方法 具有 起伏 被检物 检测 装置 照明 位置 确定 不均匀 缺陷 | ||
【主权项】:
1. 一种端部倾角测定方法,用于测定具有起伏的被检物的端部倾角,其特征在于,包括:步骤A,对上述被检物进行光照射;步骤B,检测上述被检物的反射光分布;步骤C,根据上述反射光分布的检测结果求取上述反射光分布的特征点;以及步骤D,根据光照射角度和反射光检测角度求取端部倾角,其中,上述光照射角度是在上述步骤A中对上述被检物的与上述特征点对应的位置进行光照射的角度,上述反射光检测角度是在上述步骤B中对被检物的与上述特征点对应的位置的反射光进行检测的角度,上述端部倾角是上述起伏的端部附近的倾角。
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