[发明专利]端部倾角测定方法、具有起伏的被检物的检测方法及检测装置、照明位置确定方法、不均匀缺陷检测装置和照明位置确定装置

权利要求书

1.一种端部倾角测定方法，用于测定具有起伏的被检物的端部倾角，其特征在于，包括：

步骤A，对上述被检物进行光照射；

步骤B，检测上述被检物的反射光分布；

步骤C，根据上述反射光分布的检测结果求取上述反射光分布的特征点；以及

步骤D，根据光照射角度和反射光检测角度求取端部倾角，其中，上述光照射角度是在上述步骤A中对上述被检物的与上述特征点对应的位置进行光照射的角度，上述反射光检测角度是在上述步骤B中对被检物的与上述特征点对应的位置的反射光进行检测的角度，上述端部倾角是上述起伏的端部附近的倾角。

2.一种检测方法，用于检测具有起伏的被检物的各起伏间厚度差，其特征在于，包括：

步骤A，对上述被检物进行光照射；

步骤B，检测上述被检物的反射光分布；

步骤C，根据上述反射光分布的检测结果求取上述反射光分布的特征点；

步骤D，根据光照射角度和反射光检测角度求取端部倾角，其中，上述光照射角度是在上述步骤A中对上述被检物的与上述特征点对应的位置进行光照射的角度，上述反射光检测角度是在上述步骤B中对被检物的与上述特征点对应的位置的反射光进行检测的角度，上述端部倾角是上述起伏的端部附近的倾角；以及

步骤E，利用其中具备照明部和检测部的检测装置来确定上述照明部、上述被检物和上述检测部的相对位置，使得上述被检物的、倾角大于上述端部倾角的部分对照射到上述被检物的照射光进行反射，并且，经该反射后所形成的反射光入射至上述检测部。

3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于：

确定上述照明部、上述被检物和上述拍摄部的相对位置，使得将上述检测部配置在由上述被检物的起伏对照射光进行反射所形成的反射光的延长线上，其中，上述起伏的倾角为(a)上述端部倾角与(b)反射面消失角之间的角度，该反射面消失角是上述被检物的、与反射光分布中的反射光成为观察不到的位置对应的位置的起伏表面的角度。

4.根据权利要求2或3所述的检测方法，其特征在于：

上述特征点是通过对上述反射光分布的数据进行一维投影后所得到的数据中的拐点。

5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于：

对上述反射光分布的数据进行一维投影而得到一维投影数据，对该一维投影数据进行一次微分而得到亮度分布斜率，并对该亮度分布斜率进一步实施二次微分从而求取上述拐点，并且，上述拐点是上述二次微分值为0的点。

6.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于：

并且，上述拐点是在上述二次微分值为0的点的前后的像素周期间隔范围内一次微分值的移动标准偏差值为最小的点。

7.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于：

对上述反射光分布的数据进行一维投影而得到一维投影数据，对该一维投影数据进行一次微分而得到亮度分布斜率，对该亮度分布斜率实施二次微分而得到二次微分值，对该二次微分值进行三次微分从而求取上述拐点，并且，上述拐点是三次微分值为0的点。

8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于：

并且，上述拐点是在上述三次微分值为0的点的前后的像素周期间隔范围内二次微分值的移动标准偏差值为最小的点。

9.根据权利要求3至8中任意一项所述的检测方法，其特征在于：

通过对具有明确的反射面消失位置的基准样本和上述被检物进行对比来求取上述反射面消失角。

10.根据权利要求2至9中任意一项所述的检测方法，其特征在于：

对上述反射光分布至少进行两次检测。

11.根据权利要求2至10中任意一项所述的检测方法，其特征在于：

根据上述反射光分布中的、由特定起伏进行反射所形成的反射光的反射光数据来求取上述特征点。

12.根据权利要求11所述的检测方法，其特征在于：

选择至少两个不同的起伏作为上述特定起伏，并根据由各起伏进行反射所形成的反射光的反射光数据，分别对各起伏求取上述特征点。