[发明专利]具有可加热的气体选择性渗透膜的气体传感器有效
| 申请号： | 200780020186.5 | 申请日： | 2007-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN101460820A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 维尔纳·格罗塞·布莱;丹尼尔·韦齐希 | 申请（专利权）人： | 因菲康有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴亦华;蔡胜有 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有选择性渗透膜(13)的气体传感器，选择性渗透膜(13)由硅材料构成并且在其外侧上具有加热装置(20)。所述膜(13)封闭真空外壳，所述外壳包含压力传感器。在对外壳的周围区域抽真空时，由于周围空气的总压力快速变化引起热耗散变化，导致即使调节膜(13)的温度，还是出现信号漂移。本发明提供至少一个第二加热装置(21、22)，其温度调节独立于第一加热装置(20)。因此，即使在所述外壳中总压力剧烈变化的情况下膜温度也高度恒定。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 加热 气体 选择性 渗透 传感器 | ||
【主权项】：
1. 一种气体传感器，包括由气体选择性渗透膜(13)封闭的真空外壳(10)和布置在所述膜(13)上的温度调节的第一加热装置(20)，其特征在于，在所述膜(13)上布置有至少一个第二加热装置(21、22)，所述至少一个第二加热装置独立于所述第一加热装置(20)进行调节。
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