[发明专利]具有可加热的气体选择性渗透膜的气体传感器有效
| 申请号： | 200780020186.5 | 申请日： | 2007-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN101460820A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 维尔纳·格罗塞·布莱;丹尼尔·韦齐希 | 申请（专利权）人： | 因菲康有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴亦华;蔡胜有 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 加热 气体 选择性 渗透 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体传感器，包括由气体选择性渗透膜(13)封闭的真空外壳(10)和布置在所述膜(13)上的温度调节的第一加热装置(20)，
其特征在于，
在所述膜(13)上布置有至少一个第二加热装置(21、22)，所述至少一个第二加热装置独立于所述第一加热装置(20)进行调节。
2.根据权利要求1的气体传感器，其特征在于，所述第一加热装置(20)布置在不与所述外壳(10)的壁直接接触的所述膜(13)的区域内，并且所述第二加热装置(21、22)布置在与所述外壳(10)的壁直接接触的区域内。
3.根据权利要求1或2的气体传感器，其特征在于，提供两个所述第二加热装置(21、22)。
4.根据权利要求3的气体传感器，其特征在于，所述第二加热装置(21、22)沿着矩形膜(13)的两个平行边缘布置。
5.根据权利要求3的气体传感器，其特征在于，所述第二加热装置(21、22)在所述膜(13)上具有各自的接触垫(27、28)。
6.根据权利要求4的气体传感器，其特征在于，所述第二加热装置(21、22)在所述膜(13)上具有各自的接触垫(27、28)。
7.根据权利要求1或2的气体传感器，其特征在于，所述第一加热装置(20)包含大量加热岛，并且所述第二加热装置(21、22)包含平行的导体带。
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