[发明专利]间隙测量方法、压印方法和压印设备无效
| 申请号： | 200780019866.5 | 申请日： | 2007-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101454636A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 末平信人;关淳一;古川幸生;稻秀树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14;G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杨国权 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于通过如下方式来测量两个部件之间的间隙的间隙测量方法，其中，利用来自一个部件侧的光来照射被布置为彼此相对的所述两个部件，以获得关于来自另一部件侧的反射光或透射光的强度的谱数据；通过将获得的谱数据与数据库进行比较来确定第一部件与第二部件之间的间隙，其中，在所述数据库中，间隙长度与强度谱彼此关联。该间隙测量方法用于在压印方法和用于纳米压印的设备中控制模子与基底之间的间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 间隙 测量方法 压印 方法 设备 | ||
【主权项】：
1、一种用于通过用光照射两个部件来测量所述两个部件之间的间隙的间隙测量方法，所述间隙测量方法包括：准备第一部件和第二部件，所述第一部件和第二部件被布置为彼此相对；用来自一个部件侧的光来照射第一部件和第二部件，以获得关于来自另一部件侧的反射光或透射光的强度的谱数据；以及通过将获得的谱数据与数据库进行比较来确定第一部件与第二部件之间的间隙，其中，在所述数据库中，间隙长度与强度谱彼此关联。
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