[发明专利]间隙测量方法、压印方法和压印设备

权利要求书

1、一种用于通过用光照射两个部件来测量所述两个部件之间的间隙的间隙测量方法，所述间隙测量方法包括：

准备第一部件和第二部件，所述第一部件和第二部件被布置为彼此相对；

用来自一个部件侧的光来照射第一部件和第二部件，以获得关于来自另一部件侧的反射光或透射光的强度的谱数据；以及

通过将获得的谱数据与数据库进行比较来确定第一部件与第二部件之间的间隙，其中，在所述数据库中，间隙长度与强度谱彼此关联。

2、如权利要求1所述的方法，其中，以小于照射光波长的1/4的间隙来布置第一部件与第二部件。

3、一种用于通过在两个部件之间插入图案形成材料并固化所述图案形成材料来形成图案的压印方法，所述压印方法包括：

准备第一部件，该第一部件在其表面具有压印图案；

准备被布置为与第一部件相对的第二部件；

通过如权利要求1或2所述的间隙测量方法来测量第一部件与第二部件之间的间隙；

减少第一部件与第二部件之间的间隙，直到通过所述间隙测量方法测量的间隙长度与预设间隙长度之间的差在可接受的误差范围之内；以及

在通过所述间隙测量方法测量的间隙长度与预设间隙长度之间的差在可接受的误差范围之内的状态下，固化被插入在第一部件与第二部件之间的图案形成材料。

4、一种用于将形成在模子的处理表面上的图案转印到将被处理的部件上的压印设备，所述压印设备包括：

物理量测量装置，用于测量根据模子与将被处理的部件之间的距离变化的物理量；以及

距离估计装置，用于通过将测量的物理量与预先存储在数据库中的数据进行比较来估计模子与将被处理的部件之间的距离。

5、如权利要求4所述的设备，其中，所述物理量测量装置包括：测量光源，用于测量来自模子和将被处理的部件的光强度谱。

6、如权利要求4或5所述的设备，其中，所述物理量测量装置包括：数据库存储装置，用于预先存储数据库，所述数据库包含关于根据模子与将被处理的部件之间的距离的测量谱的数据。

7、如权利要求4到6中的任何一个所述的设备，其中，所述压印设备还包括：姿态控制装置，用于基于所述距离估计装置的距离估计结果来控制模子和/或将被处理的部件的姿态。