[发明专利]用于TFT-LCD测试的微探测器有效
| 申请号： | 200780019710.7 | 申请日： | 2007-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101454677A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | B·M·约翰斯通;S·克里希纳斯瓦米;H·T·恩古耶;M·布鲁纳;刘永 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在此揭示一种用于测试大面积基板的装置和方法。大面积基板包括显示器的图案和在大面积基板上电性连接到显示器上的接触点。该装置包括相对于大面积基板和/或接触点可移动的探针组件，并配置成可测试各大面积基板上的显示器图案和接触点。探针组件更配置成可测试该大面积基板上的部分区段。该装置更包括有一测试腔室，用以在其内部容积中储存至少两个探针组件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 tft lcd 测试 探测器 | ||
【主权项】：
1. 一种适于测试大面积基板的探针组件，大面积基板包括一长度与一宽度，所述探针组件包含：矩形框架，其具有等于或小于该大面积基板的长度的一半的第一尺寸以及等于或大于该大面积基板的宽度的第二尺寸；以及多个探针针脚，自该框架的下表面延伸出来并适于接触该大面积基板。
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