[发明专利]用于TFT-LCD测试的微探测器

说明书

技术领域

本发明的实施方式主要涉及基板的测试系统。更具体地，本发明涉及在制 造平板显示器时用于大面积基板的集成测试系统。

背景技术

平板显示器，有时称之为有源矩阵液晶显示器(LCD)，近来已经越来越 普遍地成为过去的阴极射线管(CRT)的替代品。与CRT相比，LCD具有若干个 优点，包括影像质量高、重量轻、电压需求低和能耗低。这种显示器在计算机 监测器、移动电话和电视中具有多种应用。

一种类型的有源矩阵LCD包括夹在薄膜晶体管(TFT)阵列基板和滤色片 基板之间以形成平板基板的液晶材料。一般来说，TFT基板包括薄膜晶体管的 阵列，每一薄膜晶体管都耦接到像素电极，滤色片基板包括不同颜色的滤色片 部分和共享电极。当向像素电极施加一定的电压时，在像素电极和共享电极之 间就产生电场，液晶材料会被定向以使光线通过特定像素。使用的基板通常包 括较大的表面积，并且有许多独立的平板显示器被形成在此大面积基板上，这 些独立的平板显示器随后在最终制造期间从所述基板上分离。

在制造方法中有一部份会需要测试大面积基板以确定每个平板显示器中 的像素的可操作性。电压成像、电荷检测、光学成像和电子束测试是用于在制 造方法期间监视和检修缺陷的一些方法。在典型的电子束测试方法中，监控像 素内的TFT响应，以提供缺陷信息。在电子束测试的一个实施例中，将一定的 电压施加到TFT，且在调查期间，可将电子束引导至独立的像素电极。检测从 像素电极区域发出的二次电子，用以确定TFT电压。

一般来说，使用诸如探针组件之类的测试装置，检测(通过接触大面积基板 上的导电区域来进行所述检测)来自TFT的电压。探针组件的大小适于测试设 置在基板上的平板显示器的具体构造。典型地，探针组件的大小等于或者大于 基板尺寸的面积，而所述大面积的探针组件会造成操作、传递和储存困难。

因此，需要一种可解决上述部分困难的探针组件，以在大面积基板上执行 测试。

发明内容

在此描述的实施方式涉及在大面积基板上测试电子器件。在一实施方式 中，描述了一种测试系统。所述测试系统包括测试台，所述测试台的大小适于 接收矩形基板；以及探针组件，所述探针组件适于接触所述大面积基板，其中 所述探针组件的大小等于或小于所述矩形基板的尺寸的一半。

在一实施方式中，描述了一种适于测试大面积基板(所述大面积基板具有长 度与宽度)的探针组件。所述探针组件包括：矩形框架(所述矩形框架具有等于 或小于所述大面积基板一半长度的第一尺寸和等于或大于所述大面积基板宽 度的第二尺寸)；以及多个探针脚(prober pin)，这些探针脚自所述框架的下表面 延伸出来并适于接触所述大面积基板。

在另一实施方式中，描述了一种探针组件，所述探针组件适于测试大面积 基板。所述探针组件包括矩形框架和多个接触头，这些接触头耦接至所述框架 的一段且适于接触所述大面积基板，其中所述矩形框架的面积等于或少于所述 大面积基板的面积的一半。

在另一实施方式中，描述了一种测试系统。测试台的尺寸适于容纳矩形基 板，且探针组件适于接触所述大面积基板，其中所述探针组件包括矩形框架和 多个探针脚，这些探针脚是自所述框架的下表面延伸出来并适于接触所述大面 积基板，其中所述矩形框架的面积等于或小于所述大面积基板的一半面积，且 可以通过至少二个马达沿着所述测试台长度方向移动。

附图说明

为了可以更详细地理解上述的本发明的特征，可参照实施方式对以上的简 要概括进行更加详细的描述，其中部分实施方式在附图中示出。然而，应该理 解附图仅示出了本发明的典型实施方式，因此不应理解为对本发明范围的限 定，因为本发明可承认其它等效的实施方式。

图1是测试系统的一个实施方式的等轴侧视图；

图2A是测试系统的另一个实施方式的部份侧视图；

图2B是测试腔室的一个实施方式的部份末端视图；

图2C是图2B的测试腔室的一部分的放大视图；

图3A是探针支撑组件的一个实施方式的特定角度视图；

图3B是探针平台的一个实施方式的特定角度视图；

图4A是探针205A与基板的一实施方式的部份顶视图；

图4B是横向组件的一实施方式的一部份轴视图；