[发明专利]薄硅或者锗片以及由薄片形成的光电池无效
申请号: | 200780017394.X | 申请日: | 2007-03-13 |
公开(公告)号: | CN101443888A | 公开(公告)日: | 2009-05-27 |
发明(设计)人: | 亨利·希斯梅尔;罗纳德·J·莫索;罗伯特·B·林奇;希夫库玛·奇鲁沃鲁;威廉·E·麦克戈沃恩;克雷格·R·霍恩;纳拉延·索拉亚潘;罗纳德·M·康奈尔 | 申请(专利权)人: | 内诺格雷姆公司 |
主分类号: | H01L21/20 | 分类号: | H01L21/20;H01L21/31;H01L21/205 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张 波 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 薄半导体箔可以利用光反应沉积形成。这些箔可以具有小于100微米的平均厚度。在一些实施例中,半导体箔可以具有大的表面面积,诸如大于约900平方厘米的表面面积。该箔可以是独立的或者可释放地支承在一个表面上。半导体箔可以包括单质硅、单质锗、碳化硅、其的掺杂形式、其合金或者其混合物。该箔可以利用释放层形成,该释放层可以在箔的沉积之后释放箔。这些箔可以以其他方法被图案化、被切割或者被处理,从而形成器件。可以由该箔形成的适当的器件包括,例如光电模块或者显示器控制电路。 | ||
搜索关键词: | 或者 以及 薄片 形成 光电池 | ||
【主权项】:
1. 一种片,其包括具有不大于约100微米的平均厚度和至少约900平方厘米的表面面积的晶体硅、晶体锗、碳化硅、氮化硅、其的掺杂材料或者其合金,其中所述片是自由的、或者沿一个表面是自由的而且沿相对表面被可释放地连接到衬底上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造