[发明专利]测温装置无效
| 申请号： | 200780012739.2 | 申请日： | 2007-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN101421599A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 朝仓贤太朗 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01K1/14 | 分类号： | G01K1/14;G01K7/02;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 测温装置(5)包括：具有前端部(50a)和缓冲部(50b)的护套热电偶(50)，上述前端部(50a)能够跟随基座(4)在进退方向移动，上述缓冲部(50b)以在腔室(1)外延伸伸出的方式设置，允许前端部(50a)的移动；和在使前端部(50a)压在基座(4)上的方向上施力的压缩螺旋弹簧(53)。收容压缩螺旋弹簧(53)和缓冲部(50b)的密闭部件(51)以其内部与腔室(1)内连通的方式与腔室(1)的底壁(19)密接。缓冲部(50b)的终端部分向密闭部件(51)的外部延伸伸出，利用焊接，在密闭部件(51)中缓冲部(50b)的终端部分向外部延伸伸出的部分上形成接合部(55)。 | ||
| 搜索关键词： | 测温 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种测温装置，其测定配置在处理容器内的被测温体的温度，其特征在于，包括：护套热电偶，其包括护套和配置在护套内的热电偶导线束，并且具有前端部和缓冲部，所述前端部在处理容器内延伸，与被测温体接触，并跟随该被测温体在进退方向移动，所述缓冲部在处理容器外延伸，允许前端部的移动；密闭部件，其固定在处理容器外表面，容纳护套热电偶的缓冲部；和弹簧部件，其配置在密闭部件内，使护套热电偶的前端部向被测温体一侧施力，其中，护套热电偶的缓冲部终端部，从密闭部件通过焊接部或钎焊部进一步向外延伸伸出。
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