[发明专利]测温装置

权利要求书

1.一种测温装置，其测定配置在处理容器内的被测温体的温度，其特征在于，包括：

护套热电偶，其包括护套和配置在护套内的热电偶导线束，并且具有前端部和缓冲部，所述前端部在处理容器内延伸，与被测温体接触，并跟随该被测温体在进退方向移动，所述缓冲部在处理容器外延伸，允许前端部的移动；

密闭部件，其固定在处理容器外表面，容纳护套热电偶的缓冲部；和

弹簧部件，其配置在密闭部件内，使护套热电偶的前端部向被测温体一侧施力，其中，

护套热电偶的缓冲部终端部，从密闭部件通过焊接部或钎焊部进一步向外延伸伸出。

2.如权利要求1所述的测温装置，其特征在于：

处理容器内为腐蚀气体氛围，

护套、密闭部件和弹簧部件均由对腐蚀气体具有耐蚀性的材料制成。

3.如权利要求2所述的测温装置，其特征在于：

所述弹簧部件由螺旋弹簧构成，

在所述密闭部件内收容有活塞，该活塞随着所述螺旋弹簧的伸缩，在相对于所述被测温体进退的方向移动，且由对所述腐蚀气体具有耐蚀性的材料制成，

所述护套热电偶固定在所述活塞上。

4.如权利要求2或3所述的测温装置，其特征在于：

所述腐蚀气体为含有卤素的气体，

对所述腐蚀气体具有耐蚀性的材料由镍(Ni)或镍合金构成。

5.如权利要求1所述的测温装置，其特征在于：

所述弹簧部件由因科镍合金构成。

6.如权利要求1所述的测温装置，其特征在于：

所述缓冲部在相对于所述被测温体进退的方向上能够伸缩地弯曲。

7.如权利要求6所述的测温装置，其特征在于：

所述缓冲部呈螺旋状弯曲。

8.如权利要求6所述的测温装置，其特征在于：

所述缓冲部呈波形弯曲。