[发明专利]表面处理装置

摘要

本发明在被处理物为大型的情况下，也能够以简单的结构进行表面处理。用第一单元11L和第二单元11R构成表面处理装置1的处理头10。在这些单元11中，用于喷出处理气体的喷出口34沿第一方向延伸。第一方向与使被处理物移动的第二方向正交。两个单元11配置为相互在第一方向错开，且在第二方向错开。两个单元11的喷出口34之间在从第二方向观察的情况下重叠。

主权项

1.一种表面处理装置，其将处理气体喷到被处理物的表面而处理该表面，其特征在于，具备：第一单元，其具有用于喷出所述处理气体的第一孔列，该第一孔列在第一方向上延伸；第二单元，其具有用于喷出所述处理气体的第二孔列，该第二孔列在与所述第一孔列相同的方向上延伸；移动机构，其使所述被处理物相对于所述第一、第二单元，在与所述第一方向正交的第二方向上相对移动，其中所述第一单元和第二单元配置为，相互在所述第一方向上错开，且在所述第二方向上错开。