[发明专利]MEMS器件有效
| 申请号： | 200780005195.7 | 申请日： | 2007-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101385392A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | R·I·拉明;M·贝格比 | 申请（专利权）人： | 沃福森微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨 勇;郑建晖 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种微机电器件，包括：换能器布置，其至少具有针对衬底而安装的薄膜；和电交互装置，其用于将电信号联系于所述薄膜的运动；其中，所述换能器布置包括在所述薄膜的周界内的应力减缓构造，该构造至少部分地减弱来自所述衬底的膨胀或收缩对所述薄膜的影响。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 | ||
【主权项】：
1. 一种微机电器件，包括:换能器布置，其至少具有针对衬底而安装的薄膜；和电交互装置，其用于将电信号联系于所述薄膜的运动；其中，所述换能器布置包括在所述薄膜的周界内的应力减缓构造，该构造至少部分地减弱来自所述衬底的膨胀或收缩对所述薄膜的影响。
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