[实用新型]太阳能电池沉积系统中的射频放电装置有效
| 申请号： | 200720171858.X | 申请日： | 2007-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN201080494Y | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李毅;王春柱 | 申请（专利权）人： | 李毅 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;H05H1/34 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 | 代理人： | 张艺影;李奕晖 |
| 地址： | 518029广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种太阳能电池沉积系统中的射频放电装置，由一个交流电源和一个高压开关串联后与一个放电负载和一个射频电源并联组成，其特征在于所述放电负载上并联一个高压触发器，该高压触发器通过所述高压开关控制射频电源并向射频电源输送高压，使放电负载稳定放电。本实用新型解决了在电极接触电阻较大、阻抗匹配不佳的情况下反应气体不容易辉光放电的问题，节约了生产时间。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 沉积 系统 中的 射频 放电 装置 | ||
【主权项】：
1.太阳能电池沉积系统中的射频放电装置，由一个交流电源和一个高压开关串联后与一个放电负载和一个射频电源并联组成，其特征在于所述放电负载上并联一个高压触发器，该高压触发器通过所述高压开关控制射频电源并向射频电源输送高压，使放电负载稳定放电。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
