[实用新型]太阳能电池沉积系统中的射频放电装置

说明书

所属技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池生产装置，尤其涉及一种太阳能电池沉积系统中的射频放电装置。

背景技术

目前，制备太阳能电池主要利用化学气相沉积技术，而最常用的技术是等离子增强化学气相沉积技术，即辉光放电分解气体沉积技术。由于射频辉光放电具有击穿电压低、放电气压低、放电易自持等特点，因此我国大多采用13.56MHz的高频射频放电以获得等离子体能量源。而受现有仪器本身电气元件的制约及匹配阻抗、电极接触电阻的影响，造成有时辉光放电无法产生或者放电不充分，进而影响产品的质量。

在升压技术领域，常选用变压器配备倍压电路以升压，所述倍压电路一般选用二极管与电容复合增压，电压增大倍数与二极管数量一致。例如中国专利号为ZL01120381.1所公布的升压电路，其采用MOS管与电容升压，其中的MOS管起到了与二极管相似的作用，其MOS管的栅极电位可通过CMOS电路控制，提高升压的精确性及效率，但是这种升压电路复杂，不容易实施。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是，解决现有国产射频电源在电极接触电阻大、阻抗匹配差、电源输出功率低的情况下，不能快速、正常辉光放电的问题，提供一种结构简单、成本低、易于实现的辅助电路，使射频电源在各种情况下都能快速、正常地产生辉光放电，保证产品质量。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：太阳能电池沉积系统中的射频放电装置，由一个交流电源和一个高压开关串联后与一个射频电源和一个并联放电负载组成，其特征在于所述放电负载上并联一个高压触发器，该高压触发器通过所述高压开关控制射频电源并向射频电源输送高压，使放电负载稳定放电。

如上所述的射频放电装置，其特征在于所说的高压触发器由并联连接的升压变压器与振荡电路组成，升压变压器为所说的高压触发器提供一次升压，振荡电路为所说的高压触发器提供二次升压。

如上所说的振荡电路是由电感与电容串联组成。

如上所说的电感是高频扼流圈。

如上所述的电容的电容量为470pF～1000pF。

本实用新型通过对射频电源的网络匹配器输出端即电极的引入端加高压实现放电。由于：

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