[实用新型]扫描电子显微镜多样品装载组合装置无效
申请号: | 200720131193.X | 申请日: | 2007-12-04 |
公开(公告)号: | CN201122570Y | 公开(公告)日: | 2008-09-24 |
发明(设计)人: | 张天一;朱昌来;林琳 | 申请(专利权)人: | 南通大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 南通市永通专利事务所 | 代理人: | 葛雷 |
地址: | 22601*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置,包括与电子显微镜匹配的支座,支座上设置带有多个槽的基座,基座上的各槽中分别插装一个样品座。本实用新型结构合理,样品更换方便、快捷;可以进行多样品、多角度、不同大小样品座的组合;减少了对样品室真空度的影响和污染;使用高导电性金属精密加工,插槽和弹性钢珠确保金属部件之间连接的导电性;可以任何型号和厂家的扫描电子显微镜匹配使用。 | ||
搜索关键词: | 扫描 电子显微镜 多样 装载 组合 装置 | ||
【主权项】:
1、一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置,包括与电子显微镜匹配的支座,其特征是:支座上设置带有多个槽的基座,基座上的各槽中分别插装一个样品座。
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