[实用新型]扫描电子显微镜多样品装载组合装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种扫描电子显微镜用样品装载装置。

背景技术：

目前，国内外在应用扫描电子显微镜观察多样品时，常用碳导电胶或者导电双面胶带将小样品台粘在大基座上进行观察，其导电性能和操作方便程度和对显微镜的真空度都有影响。

发明内容：

本实用新型的目的在于提供一种结构合理，使用方便，工作性能好的扫描电子显微镜多样装载组合装置。

本实用新型的技术解决方案是：

一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括与电子显微镜匹配的支座，其特征是：支座上设置带有多个槽的基座，基座上的各槽中分别插装一个样品座。

基座上的各槽中分别插装不同大小、形状、角度的样品座。样品座底部设置与基座槽接触的弹性钢珠装置。

本实用新型结构合理，样品更换方便、快捷；可以进行多样品、多角度、不同大小样品座的组合；减少了对样品室真空度的影响和污染；使用高导电性金属精密加工，插槽和弹性钢珠确保金属部件之间连接的导电性；可以任何型号和厂家的扫描电子显微镜匹配使用。

附图说明：

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型一个实施例的结构示图。

图2是图1中一个样品座的结构示图。

具体实施方式：

一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括与电子显微镜匹配的支座1，支座1上设置带有多个槽2的基座3，基座上的各槽中分别插装不同大小、形状、角度的样品座4。样品座4底部设置与基座槽接触的弹性钢珠装置5。