[实用新型]真空吸附装置无效
| 申请号： | 200720081098.3 | 申请日： | 2007-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN201115959Y | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 杜凯 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B65H3/08;B65H5/22;B65H29/24 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 | 代理人： | 韩志英;何勇盛 |
| 地址： | 621900四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于金属箔吸附与拾取的真空装置。真空吸附装置的真空泵通过软管、真空抽嘴与真空室连接。真空室设置有多孔材料层，对金属箔进行吸附与拾取操作。本实用新型的真空吸附装置结构简单，操作方便，可以实现厚度较小的金属箔的吸附与拾取。通过大气压力实现金属箔材与基底之间的紧密贴合，可以实现金属箔材厚度的准确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空吸附装置，其特征在于：所述的装置含有真空泵(1)、真空抽嘴(3)、真空室(4)和多孔材料层(5)；其连接关系是，在真空室(4)的顶层设置有外表面为精密研磨抛光面的多孔材料层(5)，真空室(4)的一侧设置有真空抽嘴(3)，真空抽嘴(3)通过软管(2)与真空泵(1)连接。
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