[实用新型]可拆卸的放电弧室有效
| 申请号： | 200720076551.1 | 申请日： | 2007-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN201117619Y | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈勇杉;何春雷;陈晓;潘升林 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种可拆卸的放电弧室，包括一主体，其具有一腔体，该腔体的底部具有一开孔；一底板，其可拆卸地安装在该腔体的底部上方，具有一与上述开孔相对应的注入孔；一前板，其可拆卸的竖直安装于该主板的前侧，其具有一微孔用于安装其它部件；一后板，其可拆卸地竖直安装于该主板的后侧；及两侧板，其可拆卸地竖直安装于该主体的两端。该放电弧室上的部件可拆卸并易于安装，得以灵活更换安装于其上的磨损部件，降低成本并且保证离子源长期工作的稳定可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 可拆卸 电弧 | ||
【主权项】：
1.一种可拆卸的放电弧室，其特征在于，包括：一主体，其具有一腔体，该腔体的底部具有一开孔；一底板，其可拆卸地安装在该腔体的底部上方，具有一与上述开孔相对应的注入孔；一前板，其可拆卸的竖直安装于该主体的前侧，其具有一微孔用于安装其它部件；一后板，其可拆卸地竖直安装于该主体的后侧；两侧板，其可拆卸地竖直安装于该主体的两侧。
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