[实用新型]可拆卸的放电弧室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种放电弧室，特别涉及一种可自由拆卸并且安装容易的放电弧室。

背景技术

目前，在半导体集成电路制造过程中，要求离子注入机具有整机可靠性好，生产效率高的特性，上述特性跟离子源的稳定性及使用寿命都密不可分。在离子源中，放电弧室是其关键部分，既对离子源等离子体的产生有作用，也同时影响离子源的工作状态和稳定可靠性。因此，放电弧室的设计十分重要。

一种传统的放电弧室采用多块金属板镶嵌式结构，虽然可以减少弧室加工原材料的成本，但是在工作一段时间后，在高温热膨胀效应及气体腐蚀作用下，各金属板之间的连接会产生结构变化，导致弧室的气体密封性不好，从而产生气体外漏，影响离子源的长期工作稳定性。

另一种传统的放电弧室采用整体设计结构，在持续高温热膨胀及气体腐蚀作用下不易产生结构变形，但在长时间的电子及气体碰撞下，弧室腔体内也会产生磨损降低工作效率，从而要更换。由于该传统的放电弧室是整体设计，不得不连其他完好的部件也要舍弃，造成成本上升。

因此，需要提供一种可拆卸并易于安装的放电弧室，来实现降低成本的要求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可拆卸的放电弧室，可灵活更换安装于其上的磨损部件，降低成本并且保证离子源长期工作的稳定可靠性。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：一种可拆卸的放电弧室，其包括：

一主体，其具有一腔体，该腔体的底部具有一开孔；

一底板，其可拆卸地安装在该腔体的底部上方，具有一与上述开孔相对应的注入孔；

一前板，其可拆卸的竖直安装于该主板的前侧，其具有一微孔用于安装其它部件；

一后板，其可拆卸地竖直安装于该主板的后侧；及

两侧板，其可拆卸地竖直安装于该主体的两端。

上述的可拆卸的放电弧室，其进一步包括：该腔体的四周对称设置有第一固定孔及第二固定孔。

本实用新型由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：

1.可灵活更换安装于其上的磨损部件，降低成本并且保证离子源长期工作的稳定可靠性。

2.整个装置结构紧凑，移动方便，调整灵活。

附图说明

本实用新型的可拆卸的放电弧室由以下的实施例及附图给出。

图1为本实用新型的可拆卸的放电弧室的主视图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的可拆卸的放电弧室作进一步的详细描述。

如图1所示，一放电弧室1，包括一主体10，一底板20，一前板30，一后板40，及两侧板50。

该主体10的中央部位具有一腔体101，作为离子体产生的场所。该腔体101的底部具有一开孔102，使气体从中通过得以进入该腔体101以与电子反应而生成离子体。该腔体101的四周对称设置有四个第一固定孔103及第二固定孔104，其通过螺杆(图中未示)使腔体101与离子源外壳相连接，从而使该放电弧室1能固设在离子注入机内。

该底板20可拆卸地安装在该腔体101的底部上方，具有一与上述开孔102相对应的注入孔201，使产生离子的气体得以通过。该前板30可拆卸的竖直安装于该主体10的前侧，其具有一微孔301，该微孔用于安装电子反射板(图中未示)等其它部件。该后板40可拆卸地竖直安装于该主板的后侧，该两侧板50分别可拆卸地竖直安装于该主体10的两端。

当在电离及腐蚀作用下，该底板20被磨损需要更换时，可手动将其与该主体10分离以安装新的底板20，从而得以节约成本。该前板30，后板40及两侧板50也可方便地从该主板10上拆卸及安装。