[实用新型]离子束流密度和能量的同步测量装置

摘要

一种用于离子源的离子束流密度和能量的同步测量装置，采用磁屏蔽材料制成圆柱形采集筒，在该圆柱形采集筒内设置离子过滤器，在该采集筒的侧壁上及所述的离子过滤器的半圆形和三角形的斜边连接处采用磁屏蔽材料设一引流孔，在离子过滤器的半圆形位置设置碗形电子接收器，在离子过滤器的等腰直角三角形的直角边和斜边位置处设置片状阳离子接收器，该离子过滤器接地而与阳离子接收器和电子接收器绝缘，在该采集筒内两个端面分别设置电磁线圈，该两电磁线圈与该采集筒外的可调恒压直流电源相连，所述的阳离子接收器经第一电阻和第一毫安表接地，所述的电子接收器经第二电阻和第二毫安表接地。本实用新型装置使用简单，操作方便，实用性强。

主权项

1、一种用于离子源的离子束流密度和能量的同步测量装置，其特征在于包括：采用磁屏蔽材料制成一圆柱形采集筒(2)，在圆柱形采集筒(2)内设置一筒形结构的离子过滤器(4)，其截面为一半圆形及一等腰直角三角形的一直角边和斜边围合而成，在该采集筒(2)的侧壁上及所述的离子过滤器(4)的半圆形和三角形的斜边连接处采用磁屏蔽材料设一引流孔(1)，在离子过滤器(4)的半圆形位置设置碗形电子接收器(7)，在离子过滤器(4)的等腰直角三角形的直角边和斜边位置处设置一片状阳离子接收器(6)，该离子过滤器(4)接地，但与所述的阳离子接收器和电子接收器绝缘，在该采集筒(2)内两个端面分别设置电磁线圈(5)，该电磁线圈(5)与该采集筒(2)外的一可调恒压直流电源相连，以在该采集筒(2)中离子过滤器(4)内建立恒定的可调的匀强磁场(3)，所说的阳离子接收器(6)经第一电阻(8)和第一毫安表(9)接地，所说的电子接收器(7)经第二电阻(9)和第二毫安表(11)接地。