[实用新型]离子束流密度和能量的同步测量装置

权利要求书

1、一种用于离子源的离子束流密度和能量的同步测量装置，其特征在于包括：采用磁屏蔽材料制成一圆柱形采集筒(2)，在圆柱形采集筒(2)内设置一筒形结构的离子过滤器(4)，其截面为一半圆形及一等腰直角三角形的一直角边和斜边围合而成，在该采集筒(2)的侧壁上及所述的离子过滤器(4)的半圆形和三角形的斜边连接处采用磁屏蔽材料设一引流孔(1)，在离子过滤器(4)的半圆形位置设置碗形电子接收器(7)，在离子过滤器(4)的等腰直角三角形的直角边和斜边位置处设置一片状阳离子接收器(6)，该离子过滤器(4)接地，但与所述的阳离子接收器和电子接收器绝缘，在该采集筒(2)内两个端面分别设置电磁线圈(5)，该电磁线圈(5)与该采集筒(2)外的一可调恒压直流电源相连，以在该采集筒(2)中离子过滤器(4)内建立恒定的可调的匀强磁场(3)，所说的阳离子接收器(6)经第一电阻(8)和第一毫安表(9)接地，所说的电子接收器(7)经第二电阻(9)和第二毫安表(11)接地。

2、根据权利要求1所述的离子束流密度和能量的同步测量装置，其特征在于所述的阳离子接收器(6)的金属片的尺寸与所述的引流孔(1)的尺寸相当，分别位于离子过滤器(4)的斜边的两侧对称放置，并互相垂直。

3、根据权利要求1所述的离子束流密度和能量的同步测量装置，其特征在于所述的两个电磁线圈(5)的中心同轴，二者之间的距离与线圈直径相等。