[实用新型]一种钢瓶夹套循环加热冷却系统有效
| 申请号： | 200720074364.X | 申请日： | 2007-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN201106761Y | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张榕 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，包括：控制器、加热/冷却器及钢瓶夹套，所述加热/冷却器和钢瓶夹套均分别有一进水口和一出水口，所述加热/冷却器的出水口与所述钢瓶夹套的进水口间由进水管道、打水泵及进水控制阀门连接，所述加热/冷却器的进水口与所述钢瓶夹套的出水口间通过出水管道和出水控制阀门连接，所述钢瓶夹克上还设有一排水口，所述排水口与所述加热/冷却器的进水口之间通过排水管道连接排水泵形成排水通路，排水管道上设置排水阀门进行排水控制。本实用新型的钢瓶夹套采用新型软质材质，使得钢瓶夹套的拆装更加轻便，节省了整个系统所需的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钢瓶 循环 加热 冷却系统 | ||
【主权项】：
1.一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，包括：控制器、加热/冷却器及钢瓶夹套，所述加热/冷却器和钢瓶夹套均分别有一进水口和一出水口，所述加热/冷却器的出水口与所述钢瓶夹套的进水口间由进水管道、打水泵及进水控制阀门连接，所述加热/冷却器的进水口与所述钢瓶夹套的出水口间通过出水管道和出水控制阀门连接，其特征在于，所述钢瓶夹克上还设有一排水口，所述排水口与所述加热/冷却器的进水口之间通过排水管道连接排水泵形成排水通路，排水管道上设置排水阀门进行排水控制。
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