[实用新型]一种钢瓶夹套循环加热冷却系统

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体工业制造领域，具体涉及一种钢瓶夹套循环加热冷却系统。

背景技术

钢瓶夹套循环加热冷却系统主要是利用水作为加热或冷却的介质，利用物质导热的性能对贮存有低压粘稠性气体或者液态气体的钢瓶进行加热或冷却，从而增加或降低钢瓶内气体蒸发的速度来改变钢瓶内气体的压力，以此使气体的压力达到工业生产要求的标准。由于此种循环加热/冷却系统设备简单、操作方便、加热效果好，所以现在被广泛应用于半导体产业、科研技术等领域。

现有的钢瓶夹套循环加热冷却系统中，其钢瓶夹套为两个半圆形中空不锈钢管闭合而成，图1为该钢瓶夹套打开后的剖视图，如图1所示，钢瓶夹套100的两个半圆中空不锈钢管间通过合页101连接，每个半圆中空不锈钢管内壁均有U形的水槽回路102，两个半圆中空不锈钢管内的靠近合页上端的水槽口通过软管103连接，两个半圆中空不锈钢管上端另外的两个水槽口分别为钢瓶夹套的进水口104和出水口105，钢瓶夹套的两半闭合时通过夹具106和扣环107固定。

现有的钢瓶夹套循环加热冷却系统如图2所示由控制器201、加热/冷却器202和钢瓶夹套100组成，用户通过控制器201设定温度，加热/冷却器202根据用户的需求将其水槽内的水加热/冷却到设定的温度，加热/冷却器202的出水口204与钢瓶夹套100的进水口104间通过进水管道212和泵208连接，泵208两侧的进水管道212上分别设置进水阀门209和进水阀门210。钢瓶夹套100的出水口105与加热/冷却器202的进水口206间通过出水管道213连接，出水管道213上设置出水阀门211。

现有的钢瓶夹套循环加热冷却系统由于钢瓶夹套为不锈钢质地，在日常的操作中非常笨重，不易拆卸。由于不锈钢的钢瓶夹套大而重，在操作中很容易碰到气柜盘面的阀件，所以使用这种钢瓶夹套时气柜内的空间必须足够大。同时此种钢瓶夹套循环加热冷却系统中，只有一个进水通路和一个排水通路，且钢瓶夹套的进水口和排水口均在高位，在钢瓶夹套拆装时通常无法将其内的水完全排出。

发明内容

本实用新型解决的技术问题在于提供一种新型钢瓶夹套循环加热冷却系统，其钢瓶夹套更加轻便且易拆装，在不使用系统或拆装时能方便的排空系统中的水。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，包括：控制器、加热/冷却器及钢瓶夹套，所述加热/冷却器和钢瓶夹套均分别有一进水口和一出水口，所述加热/冷却器的出水口与所述钢瓶夹套的进水口间由进水管道、打水泵及进水控制阀门连接，所述加热/冷却器的进水口与所述钢瓶夹套的出水口间通过出水管道和出水控制阀门连接，其特征在于，所述钢瓶夹克上还设有一排水口，所述排水口与所述加热/冷却器的进水口之间通过排水管道连接排水泵形成排水通路，排水管道上设置排水阀门进行排水控制。

本实用新型的另一技术方案为：一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，包括：控制器、加热/冷却器及钢瓶夹套，所述加热/冷却器和钢瓶夹套均分别有一进水口和一出水口，所述加热/冷却器的出水口与所述钢瓶夹套的进水口间由进水管道、打水泵及进水控制阀门连接，所述加热/冷却器的进水口与所述钢瓶夹套的出水口间通过出水管道和出水控制阀门连接，其特征在于，所述钢瓶夹克上还设有一排水口，所述排水口与所述加热/冷却器的进水口之间通过排水管道连接所述打水泵形成排水通路，所述排水管道上设置排水阀门进行排水控制。

上述两种技术方案中所述的钢瓶夹套采用双面PVC或高强度复合纤维材料高温烫粘制成，包括收口部分和夹套本体部分两部分。

所述钢瓶夹套收口部分的两个外角为圆弧形设计使夹套在使用时更加贴紧、稳固于钢瓶顶部外围。

所述钢瓶夹套本体部分高温烫粘出多个相连的中间没有粘合的井形通路，所述井形通路靠近所述收口部分的外端分别为进水口和出水口，井形通路底端还设有一排水口。

所述钢瓶夹套有一使其抱紧钢瓶后可稳固附于钢瓶的粘接口。

本实用新型的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统采用了新型材质制作了钢瓶夹套，使得钢瓶夹套的拆装更加轻便，节省了整个系统所需的空间，同时在钢瓶夹套的设计上增设了排水口，整个系统增设了钢瓶夹套的排水通路，使得在钢瓶夹套拆装时可完全排空夹套内的水，更加方便了整个系统的使用。

附图说明

图1是现有技术中钢瓶夹套打开后的剖视图；

图2是现有钢瓶夹套循环加热冷却系统的系统结构示意图；

图3是本实用新型的钢瓶夹套展开后的平面图；