[发明专利]用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法

摘要

本发明涉及用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法。该方法是向真空室中依次引入不同成份的气体，利用不同气体引起磁悬浮转子规转子的相对衰减率是相互独立的特点，在真空室达到极限真空后，向其中引入第一路气体，平衡后测量出转子的衰减率(－/ω)₁，然后引入第二路气体，测出两种气体引起转子的衰减率(－/ω)₁₊₂，用(－/ω)₁₊₂－(－/ω)₁获得第二种气体引起转子的衰减率，同理将第n种气体引入真空室平衡后，测出n种气体对转子的衰减率(－/ω)_1+2+…+n，然后用(－/ω)_1+2+…+n－(－/ω)_1+2+…n－1计算出第n种气体引起的衰减率，通过计算出x气体的分压力大小。本发明测量气体分压力的装置简单，压力的测量范围由磁悬浮转子规的量程决定，这种方法广泛的应用于分压力质谱计的校准和气体分压力的精确测量等领域。

主权项

1、用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法，其特征在于包括下列步骤：(1)用真空泵对真空室、稳压室和连接管道抽真空；(2)不同的稳压室充入单一成分气体，调解微调阀，向真空室引入第一路气体，平衡后测出磁悬浮转子规对第一种气体的衰减率(3)将第二路气体引入真空室，平衡后通过磁悬浮转子规读出两种气体引起转子的衰减率用计算出第二种气体引起转子的衰减率(4)将第n(n>＝3)种气体引入真空室，平衡后用磁悬浮转子规测出n种气体引起转子的衰减率，用计算第n种气体引起转子的衰减率(5)用计算的每一种气体的分压力。