[发明专利]用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法

说明书

技术领域

本发明涉及磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法。

背景技术

文献“分压强质谱计校准装置的研制，《真空科学与技术》2001年第3期、第237～241页”，介绍了分压强质谱计的校准装置的研制及用磁悬浮转子规测量1～3种气体分压力的方法。本发明能够用磁悬浮转子规测量多种气体的分压力。

发明内容

本发明解决的技术问题是：将磁悬浮转子规测量气体种类从1～3种拓展到n种，拓宽了测量范围。

本发明的技术解决方案是：用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法，包括下列步骤：

(1)用真空泵对真空室、稳压室和连接管道抽真空；

(2)不同的稳压室充入单一成分气体，调解微调阀，向真空室引入第一路气体，平衡后测出磁悬浮转子规对第一种气体的衰减率

(3)将第二路气体引入真空室，平衡后通过磁悬浮转子规读出两种气体引起转子的衰减率用计算出第二种气体引起转子的衰减率

(4)将第n(n>＝3)种气体引入真空室，平衡后用磁悬浮转子规测出n种气体引起转子的衰减率，用计算第n种气体引起转子的衰减率

(5)用计算的每一种气体的分压力。

2、根据权利要求1所述的用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法，其特征在于：所述步骤(1)中真空室、稳压室和连接管道中的真空度小于5×10^-6Pa。

3、根据权利要求1所述的用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法，其特征在于：所述步骤(2)中稳压室中压力变化小于0.1％。

4、根据权利要求1所述的用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法，其特征在于：所述步骤(2)中的平衡时间在2分钟以上；

5、根据权利要求1所述的用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的方法，其特征在于：所述步骤(2)、(3)、(4)中气体是分别引入的，将磁悬浮转子规的输出显示设置为衰减率。

本发明与现有技术相比的有益效果是：

(1)用磁悬浮转子规能够测量3种以上气体的分压力。

(2)能够用3多种以上气体对质谱计进行校准。

(3)能够研究多种气体间对质谱计的影响。

附图说明

图1为本发明用磁悬浮转子规测量多种气体分压力的结构原理示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明采用的磁悬浮转子规测量多种气体分压力的装置由真空泵1，真空阀门2、8、9、10，真空室3，磁悬浮转子规4，气瓶5、6、7，微调阀8、9、10，稳压室11、12、13，限流小孔17、18组成。

实施例1

(1)打开真空泵1，打开真空阀门2、8、9、10，对稳压室11、12、13、以及各连接管道抽成真空。

(2)调节微调阀14、15、16向稳压室11、12、13充入一定量的气体(N₂、Ar、He)。

(3)调节微调阀10，将第一路气体(N₂)引入真空室，3分钟后，得到转子的衰减率(3.2175×10^-7s^-1)，第一路气体的压力为：(M₁＝28，P₁＝1.4526×10^-4Pa)。

(4)调节微调阀9，向真空室引入第二种气体(Ar)，3分钟后，测得两种气体的衰减率(6.7824×10^-7s^-1)，第二路气体引起转子的衰减率为(3.5649×10^-7s^-1)，则第二种气体的分压力为(M₂＝40，P₂＝1.3466×10^-4Pa)。

(5)调节微调阀9，向真空室引入第三种气体(He)，3分钟后，测得三种气体的衰减率(9.4112×10^-7s^-1)，第三路气体引起转子的衰减率为(2.6288×10^-7s^-1)，则第三种气体的分压力为(M3＝4，P3＝4.4407×10^-4Pa)。